據報道，“十一五”期間，我國實施“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝科技重大專項”，累計申請專利4248件，實現銷售總額超過100億元，帶動相關產業增長近千億元。

新聞現場：首先請中芯國際分別與大唐微電子公司等六家設計企業負責人簽署合作協議……

就在本月（3月）初，集成電路裝備專項“十一五”成果采購簽約儀式在北京召開，在IC產業鏈上已有46家企業達成了合作共識，首期合同總額共計8.48億元。

專項第一行政責任人、北京市副市長茍仲文：專項研發的21種集成電路整機裝備關鍵材料陸續進入了中芯國際大生產線的考核驗證，實現了65納米成套工藝的成套批量生產，使我國成套電路集成工藝技術實現了跨越式發展，邁入國際主流水平。

專項項目從立項開始，就有明確的用戶對象。扭轉了我國集成電路裝備進不了大生產線應用的局面。

茍仲文：專項“十二五”階段將以掌握核心技術，開發優勢產品，形成創新特色，提高產業實力為目標展開部署。